110年智慧電子人才應用發展推動計畫（經濟部工業局廣告）
【日本專家】光阻材料・微影技術開發以及應用於防止製程不良・故障因應(12小時)
(2021/5/17)暫停實體課程、採「網路視訊」方式進行，造成不便敬請見諒
讓我們一起為台灣防疫盡一份心力。
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【主辦單位】經濟部工業局
【承辦單位】財團法人資訊工業策進會
【執行單位】三建資訊有限公司
【日期時間】5/27、5/28(四)(五),9:30~16:30
【課程定價】學員自費3,600元(定價12,000元，政府補助8400元）,限額20名補助
【預定地點】雲端會議室
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微電子(ME) 依循著大型積體電路(LSI) 的pattern微小化、高集積度、意即向著大容量化的方向，持續發展而來。也逐漸實現了資訊處理高速化、低價格化。可預測今後記憶體大容量化及系統LSI的高性能化之洪流將難以遏止。在此種洪流中，以光阻等材料開發為主軸的光微影技術之進步，對ME發展功不可沒。然而，以巧妙運用這些材料的曝光裝置為主軸的硬體技術、製程技術的進步更是日新月異。
光阻材料開發是pattern微小化、高解析度化為主，運用於曝光技術，得以縮短光波波長。目前為止有眾多選項、進行眾多測試，過程迂迴崎嶇。近40年來經歷巨大技術變革：
(1)導入投影曝光
(2)化學增幅型光阻/準分子雷射（Excimer laser）光源之採用
(3)極端紫外光源EUV。
本課題中，主講人將彙整以往技術．材料開發的實例，如何有效率技術開發．防止製程不良．故障的因應措施…等應用方針。
適合對象：從事研究開發、製造技術領域至少2年以上（工程師、中堅主管、領導者）
5月27、28日(四)(五)09:30~16:30 授課講師：日本業界專家(語言：日文演說．逐步口譯)
（一）技術典範轉移與半導體積體電路
1-1 技術發展與典範轉移
1-2 微電子(ME)與社會
1-3 ＭＥ黎明期與光阻
（二）光阻的主流
2-1 橡膠類負型光阻
(1) 微影製程之奠定
(2) 基本構造及製造方式
2-2 酚醛樹脂(Novolak)類正型光阻
(1) 組成
(2) 基材樹脂製法、感光性化合物
(3) 光阻透明性及解析度
(4) I-Line光阻
(5) 微影製程內的化學與工程管理
(6) 光阻溶劑及對環境之影響
(7) 為達高性能化所付出之努力與技術革新
（三）光阻的旁支
3-1 X光厚膜光阻
3-2 Top Surface Imaging：DESIRE
3-3 Deep UV微影
(1) 黎明期的光阻
(2) 化學增幅型光阻
(3) 光酸產生劑
（四）準分子雷射微影
4-1 KrF光阻
(1) 準分子雷射微影之課題
(2) 光源・光學系之課題
(3) 化學増幅型光阻之課題
(4) 從材料進行改良
(5) 從製程面進行改良
(6) 實用化的光阻材料
4-2 ArF光阻
(1) ArF光阻的課題
4-3 液浸微影
（五）極端紫外光源EUV微影
5-1 光源・曝光機開發
5-2 光阻開發
（六）今後展望
6-1 關於顯像製程的看法
（七）平板顯示器材料
（八）實裝材料（聚醯亞胺）
（九）為能更有效率地達到技術革新
1. 報名洽詢：(02)2536-4647#10張小姐(電子郵箱sumken@sum-ken.com)
2. 招收人數：本班預計20人為原則，依報名及繳費完成之順序額滿為止。（預計12人即開課）
3. 原價12,000元/人，政府加碼70%補助8,400元，學員自費3,600元整（補助名額限20名）
4. 補助資格：限持身份證之本國國民，出席率8成且課後進行隨堂測驗，繳交「學員基本資料表」(含個資同意書)，方可適用補助。
| 團報優惠方案 |
1位報名 |
| 原價 |
12,000元 |
| 學員自費 |
3,600元 |
※ 請於開課日期【前5天完成繳費】，課程現場繳費 恕不享以上優惠資格※
※即日起改採 【電子發票】，皆以Email寄達學員報名登記信箱，請註明服務機關之完整抬頭，協助開立發票※
※【 匯款ATM繳費】中國信託銀行(822)城北分行 657-540116548三建資訊有限公司※
※【 即期支票繳費】請開立抬頭為「三建資訊有限公司」並郵寄至「104台北市中山區吉林路245號4樓」※
（2）「線上學員」請回覆紙本講義的（郵寄地址），郵資費由本單位負擔。（海外地區亦同）。
（3）課程學員繳交之應備文件，由本單位負擔回郵郵資。務必請本人簽名並寄回。
（4）「線上學員」於上課期間，可能需配合打開鏡頭及麥克風，以核對身份。
（5）倘若學員藉線上學習之便，而有不法侵權情事。本單位有權隨時終止該位學員資格，學員需自負法律責任，且所繳費用概不退還。
（6）線上多元視訊課程，是防疫期間的寶貴資源，敬請學員愛惜使用。
（7）謝謝所有長期支持三建技術課程的學員。
※ 結訓學員應配合經濟部工業局培後電訪調查。
※ 為尊重講師之智慧財產權，恕無法提供課程講義電子檔。
※ 課程前3天，學員將收到【上課通知】，務請留意Email信件。
※ 退費標準：課程前3天取消者，得全額退費；前3天內取消者，則酌收課程定價之10%手續費；課程當天取消者，恕不受理退費，惟可轉讓與其他人參訓。
