2022年8月8日(一)09:30~16:30 授課講師:台灣學研專家
第一部、3D IC封裝製程技術
一、先進封裝技術介紹 Introduction to Advanced Package
二、三維晶圓封裝製程 3D IC Process
(1). 晶圓暫時接合/分離 Temporary Bonding/De-bonding
(2). Cu/Oxide Hybrid 晶圓接合 Cu/Oxide Hybrid Wafer to Wafer Bonding
(3).矽導通孔模組(TSV)導線重佈製程(RDL)
(4). TSV module
(5). RDL
(6).凸塊製程 Bumping
(7). TSV reveal
三、晶片堆疊與組裝 Chip Stacking and Assembling
四、Si/Glass/Organic 中介層 Si/Glass/Organic Interposer
五、晶圓級扇出封裝(Fan-out)
六、應用
(1). microLED
(2). 矽光子(Silicon Photonics)先進封裝技術介紹
2022年8月9日(二)09:30~16:30 授課講師:日本Toshiba退役專家。專長於3DIC設備開發、LSI製程開發、Bump(語言:日文演說.逐步口譯)
第二部、Fundamentals of Solder Bumping Process
(1). Status of bumping technology
(2). Sn-based Pb free bumping
.Difficulties of Sn-Ag, Sn-Cu alloy plating
.Stack plating for dilute alloying Sn-based bumping
(3). Low-k BEOL Chip Package Interaction
.Creep behavior of Sn-based alloys
.Reliability assessment for SnCu FC joints
.Effect of thermal cycling on Sn grain growth